磷化铟晶片 InP Wafer

公司投产了国内唯一的2-4英寸磷化铟衬底生产线,成功填补了国内空白。产品被广泛应用于微波振荡器与放大器、光纤通讯功率放大器以及激光武器功率放大器等领域。

Our 2’’ to 4’’ semi-conducting & semi-insulating InP wafer producing line is the first mass producing line in China. They are wildly used in microwave oscillator & amplifier, amplifier for optical communication & power amplifier for laser weapons.


半导体磷化铟规格 Specifications of semi-conducting InP wafer

生长方法
Growth Method 

VGF 

掺杂类型
Dopant 

 P型:锌 
 p-type: Zn 

 N型:硫,锡,无掺杂
 n-type: S, Sn AND Undoped

晶片形状
Wafer Shape 

圆形(尺寸2、3、4英寸)
Round (DIA: 2’’, 3’’, 4’’) 

晶向 
Surface Orientation * 

(100)±0.5° 

* Other Orientations maybe available upon request 
  其他晶向要求可根据客户需求加工 

Dopant
掺杂

硫,锡(N型)
S & Sn (n-type)

无掺杂(N型)
Undoped (n-type)

锌(P型)
Zn (p-type)

载流子浓度
Carrier Concentration (cm-3)

( 0.8-8) × 1018

( 1-10) × 1015

( 0.8-8) × 1018

迁移率 
Mobility (cm2/V.S.)

( 1-2.5) × 103

( 3-5) × 103

50-100

位错 
Etch Pitch Density (cm2) 

 100-5,000

≤ 5000

≤ 500

直径
Wafer Diameter (mm)

50.8±0.3

76.2±0.3

100±0.3

厚度 
Thickness (µm) 

350±25

625±25

625±25

TTV [P/P] (µm) 

≤ 10

≤ 10

≤ 10

TTV [P/E] (µm) 

≤ 10

≤ 15

≤ 15

WARP (µm) 

≤ 15

≤ 15

≤ 15

OF (mm)

17±1

22±1

32.5±1

OF / IF (mm)

7±1

12±1

18±1

Polish*

E/E,
P/E,
P/P

E/E,
P/E,
P/P

E/E,
P/E,
P/P

*E=Etched, P=Polished(*E=腐蚀, P=抛光)

**If needed by customer 
    根据客户需要 


半绝缘磷化铟规格 Specifications of semi-insulating InP wafer

生长方法

VGF

掺杂类型
Dopant

SI 型:铁
SI Type:Iron (FE)

晶片形状
WaferShape

圆形(尺寸2、3、4英寸)
Round(DIA:2’’,3’’,4’’)

晶向
SurfaceOrientation*

(100)±0.5°

*OtherOrientationsmaybeavailableuponrequest
其他晶向要求可根据客户需求加工

电阻率
Resistivity(Ω.cm)

≥ 0.5× 107

迁移率
Mobility (cm2/V.S)

≥ 1,000

位错
EtchPitchDensity(cm2)

1,500-5,000

直径
Wafer Diameter (mm)

50.8±0.3

76.2±0.3

100±0.3

厚度
Thickness(µm)

350±25

625±25

625±25

TTV[P/P](µm)

≤ 10

≤ 10

≤ 10

TTV[P/E](µm)

≤ 10

≤ 15

≤ 15

WARP(µm)

≤ 15

≤ 15

≤ 15

OF (mm)

17±1

22±1

32.5±1

OF / IF (mm)

7±1

12±1

18±1

Polish*

E/E,
P/E,
P/P

E/E,
P/E,
P/P

E/E,
P/E,
P/P

*E=Etched, P=Polished(*E=腐蚀, P=抛光)

**Ifneededbycustomer
    根据客户需要


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